Thread ini saya tulis untuk menjawab sebuah pertanyaan di Lounge Formil dari @ saul.goodman




Di Lounge tersebut saya sudah memberikan jawaban seperti di bawah




Nah, Thread ini dibuat untuk menjawab pertanyaan itu dengan pendekatan lebih holistik terkait sejarah, hukum dan teknis daripada ASML itu sendiri.

Mari Kita mulai.

1. Sejarah
1.1 Manhattan Project
Semua ini bermula dari Manhattan Project sebuah project yang dilakukan pada Perang Dunia kedua untuk memproduksi senjata nuklir. DIbawah direksi dari Leslie Grove dan juga nuclear scientist Robert Oppenheimer. Manhattan Project ini intinya adalah sebuah proyek sangat besar mempekerjakan 130 ribu orang dengan budget pada saat itu 2.2 billion USD. Salah satu hal yang dikembangkan dari proyek ini adalah konsep mekanika quantum, karena itu memang basis pembuatan atomic bomb. 
Akan tetapi proyek ini tidak berhenti hanya mengenai pembuatan bom atom saja, banyak pengembangan teknologi lain yang mengikuti termasuk teknologi Lithography.
Manhattan Project

1.2 Proximity Fuze
Dalam perkembangannya, ada sebuah US Military Lab yang mengerjakan mengenai Proximity Fuze. Lab itu bernama US Army Diamond Ordnance Fuze Laboratory, atau lebih dikenal dengan nama Harry Diamond Laboratory.




Proximity Fuze ini apa? a fuze that detonates an explosive device automatically when the distance to the target becomes smaller than a predetermined value. (wikipedia)






Coba tonton video di bawah.
Proximity Fuze

Lalu setelah perang dunia kedua berakhir, tahun 1952, US military lab ini melakukan riset bagaimana memperkecil ukuran electronic circuit ini supaya bisa masuk ke dalam Proximity Fuze. 
The Diamond Ordnance Fuze Laboratory's Photolithographic Approach to Microcircuits

Mulai dari sini bakal banyak istilah teknis seperti photoresist, photomask dsb. (nanti saya coba bahas di Part 3)

Setelah itu di dalam perkembangannya, perusahaan US seperti Fairchild Technology, PerkinElmer dsb. 

Salah satu predessesor ASML adalah PerkinElmer. PerkinElmer ini mempunyai tempat riset di Wilton, Connecticut yang R&D nya dibantu oleh US Institution seperti MIT. Dikarenakan karena kebutuhan US Air Force yang sangat besar terhadap ICs ini.
 PerkinElmer ini membuat sebuah teknology bernama MIcralign yang sangat penting dalam fabrikasi semikonduktor. Pada saat itu MIcralign ini bisa meningkatkan jumlah working chip mencapai 70%
Di bawah ini adalah sebuah article yang sangat bagus mengenai PerkinElmer dan tantangan yang dihadapi pada saat itu
The Near Impossibility of Making a Microchip

Sayangnya di tahun 1980an, PerkinElmer mulai mengalami kemunduran, karena mereka telat dalam meng introduce Stepping Aligner. Stepper ini adalah Step and Repeat Camera. Stepper ini menggantikan Aligner yang dibuat oleh PerkinElmer dan ini membuat ukuran ICs menjadi lebih kecil. Dibuat oleh Fairchild Semiconductor.
Ukuran ICs yang semakin kecil ini sejalan dengan Moore's Law.
Yang intinya jumlah transistor dalam sebuah ICs itu doubles setiap 2 tahun




Akhirnya divisi ini di PerkinElmer dijual ke Silicon Valley Group
ASML sendiri adalah perusahaan yang merger dari Philips dan ASMI. Perusahaan ini sedari awalnya justru berkutat di extreme UV. Lalu tahun 2001 mereka mengambil alih Silicon Valley Group.

2. Hukum
2.1 COCOM dan hukum internasional ekspor critical teknologi

Setelah perang dunia kedua usai, US dan sekutu membuat perjanjian kerja sama untuk menjaga komponen-komponen Blok Barat agar tidak jatuh ke tangan Blok Timur. Dan perjanjian ini disepakati 17 negara member termasuk Belanda dan Jepang. Cina Daratan sampai sekarang tidak termasuk member dari perjanjian ini.

Perjanjian ini bukan seperti treaty tapi mirip seperti gentleman agreement. Tidak ada batas yang jelas untuk mengatur hukumannya. Tapi apakah ada kasus pelanggaran COCOM ini? Ada, kasus yang paling terkenal adalah kasus Toshiba-Kongsberg yang melakukan pengiriman/ekspor machine tools ke Soviet pada tahun 1985, untuk membuat screws pada submarine agar suaranya ga bising. (ingat ya ini case study, bukan inti pembicaraan, nanti malah pada fokus ke kasus ini.)

Myth of Free Trade
Toshiba-Kongsberg Incident

2.2 Wassenaar Agreement
 Lalu bagaimana dengan ASML yang setelah COld War berakhir. Ada perjanjian bernama Wassenaar Agreement. Di situ ada listnya juga salah satunya Mesin-mesin LIthography yang high tech. High Tech itu gimana maksudnya? ada penjelasan di Wassenaar agreement ini saya kasih.

Wassenaar Arrangement List





Ini belum ditambah dengan hukum di US yang comply dengan perjanjian-perjanjian internasional ini seperti Military Critical Technology List dan Commodity control list.
Ntar saya tambah-tambah deh.

3. PhotoLithography, Photoresist, dan P-N Junction

Buku 460 halaman tentang Crystal Rectifier itu sering digunakan sebagai referensi mengenai PN Junction karena itu adalah dasar dari dasar sebelum masuk ke pemahaman photolithography itu sendiri. dibaca mulai halaman 40 ke atas
 Crystal rectifier

Kenapa? Karena Photolithograhy digunakan untuk mendefinisikan geometri dari P-N Junction itu sendiri.

Jadi, kalau tidak mengerti soal P-N Junction lalu langsung sok tau soal EUVL itu jadi kelihatan ketidakmengertiannya.

Lalu sedikit tambahan jawaban;


Jenis-jenis transistor itu ada banyak, ada yang MOSFETS yang sekarang ini dipakai buat ICs dengan Lithography, ada transistor FET, JFET dsb. Tidak semua transistor itu dibuat dengan menggunakan teknik lithography.


Terus Lithography teknik membuat transistor dari silicon wafer? Photolithography itu adalah patterning. Patterning itu apa? ya itu menentukan geometri P-N Junction. apa itu P-N Junction? baca buku Crystal Rectifier.



Paper yang saya kasih adalah paper dasar yang harus dibaca oleh mahasiswa tingkat dasar yang ingin mendalami lebih dalam mengenai Semikonduktor.


Transistor terbaru itu apa per defenisi? Transistor yang digunakan tetap MOSFETS yang dibuat kecil sampai bisa mencapai Moore's Law. Sementara EUV Lithography adalah teknik patterningnya sehingga bisa efisien. Sampai disini saya gagal paham.

NB: Guys, saya sudahi disini dulu ya, ada kerjaan. 
Mohon Maaf kalau saya tidak bisa update cepat2 dan kadang menghilang karena kesibukan. Nanti saya tambah2 lagi ini tulisannya. Masih banyak yang harus saya tulis sebenarnya. 
Terima Kasih